E-chuck 維修

E-Chuck（Electrostatic Chuck）為半導體真空與電漿製程中固定晶圓的重要核心技術，廣泛應用於真空鍍膜（PVD）、電漿蝕刻（Etching）、離子植入等半導體設備。京皓針對各式 E-Chuck 型號與不同損壞狀況，提供專業檢測、評估與維修服務。