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E-Chuck(Electrostatic Chuck)為半導體真空與電漿製程中固定晶圓的重要核心技術,廣泛應用於真空鍍膜(PVD)、電漿蝕刻(Etching)、離子植入等半導體設備。京皓針對各式 E-Chuck 型號與不同損壞狀況,提供專業檢測、評估與維修服務。
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